産業用コネクタ技術特集
資料ダウンロード
各種お見積り・ご相談
お問い合せはこちら
産業用コネクタ
専門情報
TOP > 専門情報 > 半導体業界に求められるコネクタ・カップリングとは
半導体業界に求められるコネクタ・カップリングとは

半導体業界に求められるコネクタ・カップリングとは

半導体はPCやスマホ、自動車など、現代機器では数え切れないほどの製品に数多く使われています。前工程から後工程に渡り様々な製造・検査工程を展開する半導体製造事業。各工程で使用される装置の技術発展は目まぐるしく日進月歩で変貌しています。

半導体業界に求められるコネクタ・カップリングとは?

半導体はPCやスマホ、自動車など、現代機器では数え切れないほどの製品に数多く使われています。前工程から後工程に渡り様々な製造・検査工程を展開する半導体製造事業。各工程で使用される装置の技術発展は目まぐるしく日進月歩で変貌しています。成膜装置、蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、露光装置などには、大電流コネクタや真空用コネクタを使われており、各装置の高度な仕様要求に応えるために進化しています。こういった技術力の発展が凄まじい装置を設計する開発者や設計者が最先端の設計を進める中で、コネクタを選定するときのポイントは何でしょうか。

半導体関連装置の設計者が抱えている問題点とは?

コネクタを選定する際の一般的な採用項目としては大きく分けて下記の4点が挙げられます。

① 価格
② 納期
③ 電気的仕様
④ サイズ

当然、半導体製造装置業界の装置設計においても上記4点は採用基準として重要視されることは間違いありません。
ただ①~④の問題解決については専門メーカーであれば標準品、所謂カタログ品の提案で解決することが多く、設計者の抱える本質的な問題点への解決にはならないことが多いようです。
なぜかというと、半導体に関連する装置で使用されるコネクタは装置の性質上、時に上記4点よりも優先される選定基準が存在するからです。

半導体製造装置が求めるコネクタとは?

それは半導体製造装置の設計においてコネクタに求められるSPEC(仕様)にあります。
半導体製造装置で使用されるコネクタは主にハーメチックシールやフィードスルーなどと呼称されることが多い真空用のコネクタや電流導入端子が主となっています。
それらは主に装置内でウェハーを処理するための真空チャンバーに搭載されます。

 

半導体ウェハーは年々大口経化しており、ウェハーの熱膨張や波長の依存性などに依ってチャンバーは再設計される必要があります。また各工程において、あらゆるプロセス装置や自動化装置の設計も見直す必要性にも迫られます。

 

その都度、チャンバーや装置に合わせたコネクタを製作する必要が出てくるのです。それはコネクタメーカーが用意しているカタログ標準品の仕様で完全に対応することは難しく、コネクタメーカーの提案品しだいではファクターの1つを妥協した形で作り上げてしまう場合があります。

 

特に先端技術を利用した装置の初期開発段階では、開発優先順位を考慮した場合、コネクタや電流導入端子をカスタム化し、それぞれのチャンバー装置の仕様に完全に合致したコネクタを提供できる”技術力”が求められます。
サイズ・形状・真空度・耐熱温度・電気的仕様(電流、電圧)・絶縁性など多岐に渡る要求される仕様を満たすためには、コネクタの開発力や製造能力を有したコネクタメーカーの存在が必須です。

コネクタの開発でエッチング装置の課題を解決した事例

あるエッチング装置で必要な量のプラズマがターゲット(ウエハ)に届かないという問題が発生していました。その問題を解決するためには、現在使用中のヒーター電源向け耐熱用多極コネクタ(他社製品)について、装置の高周波特性に悪影響を及ぼさないように「コネクタのサイズを現状の半分以下にし配線方法を変更する必要がある」という結論になりましたが、現行品メーカーではサイズを現状の半分以下にすることができず、ソルトンにご相談いただきました。 装置メーカーとソルトンとで様々な検討を重ねた結果、使用環境(耐熱200℃)、電気仕様(15A×30極以上)、寸法制限(φ40mm以下)の全ての要求条件を満たす新たなコネクタの開発に成功し、装置を改善することができました。

ソルトン製品が半導体業界に提供できる価値

ソルトンが扱っている真空用コネクタの優位性は、まさにそのカスタム対応力にあります。市場からの困難な要求仕様も、お客様に寄り添いながら打合せを重ねることで様々な製品が実現されてきた実績が多数あります。そうして蓄積された知識とノウハウは業界随一と自負しています。ソルトンは、製品そのものが高品質であることはもちろん、“提案力・技術力・サポートサービス体制”にも力を注いでいます。設計自由度や作業性の向上(メンテナンス時間の短縮)といった目に見えない改善点や留意点まで配慮して特注品の製作をしております。もしカタログ標準品で仕様を満たせない場合は高い技術力をもって特注製作のサポートも喜んで承ります。

産業用コネクタに
関するお悩みを解決
045-474-9523
営業時間
9:00~17:00 ( 土日祝日のぞく )