産業用コネクタ技術特集
資料ダウンロード
各種お見積り・ご相談
お問い合せはこちら
産業用コネクタ
活用事例・ノウハウ
TOP > 活用事例・ノウハウ > ワンタッチの大電流コネクタ(電源コネクタ)を導入し、省スペース化&作業効率アップ…
半導体 工場の省エネ対策をしたい 通電効率を上げたい 省スペースで大電流を流したい 作業効率をアップしたい
ワンタッチの大電流コネクタ(電源コネクタ)を導入し、省スペース化&作業効率アップを実現した事例

ワンタッチの大電流コネクタ(電源コネクタ)を導入し、省スペース化&作業効率アップを実現した事例

半導体の製造工程では、多結晶シリコンを溶融し単結晶棒(インゴット)を作り、スライスしてウエハを作ります。その後、ウエハに必要なイオンを打ち込んで素子をつくりました。

大電流コネクタでスペースが圧迫されている…

半導体の製造工程では、多結晶シリコンを溶融し単結晶棒(インゴット)を作り、スライスしてウエハを作ります。その後、ウエハに必要なイオンを打ち込んで素子をつくるイオン注入という工程があります。その工程で使用されるイオン注入装置のヒーター給電箇所に大電流コネクタが使われています。

 

装置内の限られたスペースで定格150~200Aの給電箇所の切り離しがあり、従来品のコネクタは全長が長く、着脱作業も固くやりにくい状況でありました。

約30%省スペース化に成功し、ワンタッチ式で女性や高齢の作業者もスムーズに作業できるように

接続不良を防ぐためにバネを用いて接続部分の接圧を一定にする特殊コネクタを導入しました。それまではたびたびラインが止まってしまっていましたが、導入後は一切通電不良がなくなりました。

産業用コネクタ&コンポーネントのお悩みを解決
045-474-9523
営業時間
9:00~17:00 ( 土日祝日のぞく )