大電流コネクタ（電源コネクタ）への置き換えにより、コネクタ本体の温度管理というわずらわしい作業から解放された半導体製造装置工場の事例

半導体の前工程であるウエハに素子を作りこむ酸化・拡散・CVD・イオン注入の工程向け半導体製造装置の検査工程において、定格600Aの通電箇所があります。

もともとその通電箇所は端子止でありましたが、通電検査をおこなう際に端子を固定したり外したりしていましたが、その都度、現場で電気工事士の資格を持った作業者を立ち会わせる必要がありました。

半導体製造装置の生産数が伸びる中、検査の通電の度に毎回、電気工事士の有資格者を立ち会わせる訳にはいかず、電気工事士の有資格所者の立ち会いを無くすことと作業の効率化のため、端子止め箇所をコネクタ化することにしました。

半導体製造装置の生産数が伸びる中、検査の通電の度に毎回、電気工事士の有資格者を立ち会わせる訳にはいかず、電気工事士の有資格所者の立ち会いを無くすことと作業の効率化のため、端子止め箇所をコネクタ化することにしました。

ところが、電気工事士の有資格者の立ち会いが必要なくなり、端子止めからコネクタによる通電箇所の接続方法の変更で現場の改善は出来たのですが、新たにコネクタの発熱による通電不良が頻繁に発生し新たな対策が必要となり、その対応策としてコネクタ本体に温度検知テープを貼り、コネクタの温度上昇の確認を毎回おこなうことになりました。

せっかく、電気工事士の有資格者の立ち会いが必要なくなり、通電箇所の作業性も向上したのですが、コネクタ発熱による接触不良を防止するための新たな手間と費用が増えることになってしまい、定格600Aという大電流に対して発熱がしにくい接触信頼性の高いコネクタを探すことが現場での課題となっていました。

そこで、産業用コネクタ＆コンポーネンツを運営している丸紅エレネクストにこの件について相談したところ、定格600Aといった大電流を通電させても発熱しにくい、特殊なバネ接点を採用した接触信頼性の高い大電流コネクタ（電源コネクタ）の提案を受け、実際に試験トライをおこないました。

試験トライ結果の結果は、今まで問題となっていた発熱による通電不良という問題は全て解決することができ、現場の作業者はコネクタ本体の温度上昇の確認というわずらわしい作業から解放されました。

さらにコネクタ本体の温度確認というわずらわしい作業から解放されたとともに、この大電流コネクタがこれまでのコネクタより小型、軽量化できたことから、結果的に検査工程での作業性が大幅に上がったと高い評価を現場から受けており、今では装置に欠かせないアイテムのひとつになっています。